Physik Gö Uni Gö
Universität Göttingen
IMP


Nova Nano Lab 600

Focused Ion Beam (FIB)





Nova Nano Lab 600
  • Hochauflösendes Feld Emissions SEM (200V-30kV)
  • Ga Ionenquelle (5-30kV)
  • Everhardt Thornley Detektor
  • In- Lens Detektor
  • Platin deposition
  • Isulatordeposition (SiO2)
  • Reaktives ätzen